Etude d'un procédé de dépôt de films de diamant nanocristallin par des plasmas micro-ondes de CH4/H2/Ar

par Francis Mohasseb

Thèse de doctorat en Sciences de l'ingénieur. Génie des procédés

Sous la direction de Khaled Hassouni.

Soutenue en 2004

à Paris 13 .


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  • Titre traduit

    Investigation of nanocrystalline diamond films deposition by CH4/H2/Ar microwave discharges


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Informations

  • Détails : 48 p.
  • Notes : Publication autorisée par le jury

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université Paris 13 (Villetaneuse, Seine-Saint-Denis). Bibliothèque universitaire. Section Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TH 2004 021
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