Conception et réalisation d'un capteur résonant haute pression en silicium pour le forage pétrolier

par Olivier Gigan

Thèse de doctorat en Microelectroniques, capteurs et microsystèmes

Sous la direction de Alain Bosseboeuf.

Soutenue en 2004

à Paris 7 .

  • Titre traduit

    Design and fabrication of a silicon resonant - high pressure sensor for oil feild application


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Informations

  • Détails : 1 vol., 208 p.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. 199-208

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  • PEB soumis à condition
  • Cote : TS (2004) 082

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  • Cote : 04 PA07 7082
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