Conception et réalisation technologique de commutateurs micro-électromécaniques en bande K pour antennes à réseaux déphasés

par Michel Fryziel

Thèse de doctorat en Micro-ondes et microtechnologies

Sous la direction de Paul-Alain Rolland et de Nathalie Haese-Rolland.

Soutenue en 2004

à Lille 1 .

mots clés

• Microcommutateurs
• Commande électrostatique
• Coupleurs hybrides
• Systèmes microélectromécaniques
• Microactionneurs
• Microtechniques
• Radiofréquences
• Déphaseurs
• Antennes-réseaux à commande de phase
• Antennes adaptatives

Résumé

Le nombre croissant des utilisateurs de systèmes de communications sans fil et l'introduction de services hauts débits, tels que les services multimédia ou l'accès rapide à Internet, vont entraîner une forte augmentation du trafic à l'échelle mondiale. L'utilisation d'antennes intelligentes se présente actuellement comme l'une des techniques les plus prometteuses pour l'accroissement de la capacité des systèmes de télécommunication. L'agilité de faisceau, qui constitue la principale caractéristique de ces antennes, nécessite des déphaseurs qui, jusqu'à présent, étaient essentiellement réalisés à l'aide de composants semiconducteurs. Aujourd'hui, les déphaseurs peuvent tirer profit de la technologie des microsystèmes électromécaniques (MEMS) qui permet la réalisation de commutateurs présentant d'excellentes performances RF jusqu'aux fréquences millimétriques, et dont la très faible consommation d'énergie revêt une importance capitale pour les systèmes de communications mobiles du futur.

Titre traduit

Design and technological realization of microelectromechanical switches in K band for phased array antennas

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