Modification des propriétés magnétiques de couches minces de nickel et de manganèse et réalisation de microstructures magnétiques par implantation ionique en immersion plasma

par David Vempaire

Thèse de doctorat en Physique des matériaux

Sous la direction de Salvatore Miraglia.

Soutenue en 2004

à l'Université Joseph Fourier (Grenoble) .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Nous avons tout d'abord etudie le depot de couches minces de manganese et de nickel sur silicium 100 par pulverisation ionique assistee par plasma micro-onde mul tidipolaire. Les couches de nickel et de manganese deposees ont ensuite ete implantees par de l'azote en utilisant la technique d'implantation ionique en immersion plasma assistee par plasma micro-onde decr. Cette technique nous a permis de synthetiser les nitrures ni3n et mn4n malgre la metastabilite du ni3n et la forte reactivite chimique a l'oxygene du manganese. Nous avons ensuite implante de l'azote dans une double couche ni sur mn pour les nitrurer simultanement en formant l'empilement ni3n sur mn4n. Le caractere metastable de ni3n et la forte affinite du manganese pour l'azote, traduit par une grande difference d'enthalpie de formation des composes ni3n et des nitrures de manganese, a conduit l'azote implante a diffuser entierement dans le manganese lors du recuit post implantation. Pour finir, nous avons initier l'etude de la realisation d'une microstructure magnetique par implantation d'azote dans une couche de nickel a travers un masque organique.


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  • Titre traduit

    Modification of the magnetic properties of nickel and manganese thin films and making of magnetic microstructures by plasma immersion implantation


  • Résumé

    We first of all studied the deposit of thin layers of manganese and nickel on silicon 100 using the pulverization assisted by microwave mul tidipolar plasma technique. The layers of nickel and manganesi deposited were th en implanted with nitrogen by using the plasma based immersion implantation technique assisted by a microwave de cr plasma. This technique enabled to synthesize the nitrides ni3n and mn4n ln spite of the metastability of ni3n and the strong chemical reactivity of manganese with oxygen. Then we have implanted nitrogen ln a double layer ni on mn simul taneousl y to nitride them by making ni3n stacking on mn4n. The metastability of ni3n and the strong affinity of manganese for nitrogen, have made nitrogen implanted entirel y diffusing ln manganese during the annealing. Then, we have initiated the study of the realization of a magnetic microstructure by nitrogen implantation ln a layer of nickel through an organic mask.

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Informations

  • Détails : 1 vol. (174 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. 173-174

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  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : TS04/GRE1/0252
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  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS04/GRE1/0252/D
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