Dépôt par plasma en résonance cyclotron électronique d'alliages de silicium pour applications optiques

par Gregory Girard

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Jean-Eric Bourée.

Soutenue en 2004

à Palaiseau, Ecole polytechnique .

mots clés

• Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma en résonance cyclotron électronique
• Silice dopée au germanium
• Oxynitrure de silicium
• Guide d'onde planaire
• Silice
• Semiconducteurs amorphes
• Filtres optiques
• Optique intégrée

Pas de résumé disponible.

Titre traduit

Deposition by electron cyclotron resonance plasma of silicon alloys for applications in optics

Pas de résumé disponible.