Uniquement les thèses soutenues
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Dépôt par plasma en résonance cyclotron électronique d'alliages de silicium pour applications optiques
par Gregory Girard
Thèse de doctorat en Physique
Sous la direction de Jean-Éric Bourée.
Soutenue en 2004
- Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma en résonance cyclotron électronique
- Silice dopée au germanium
- Oxynitrure de silicium
- Guide d'onde planaire
- Silice
- Semiconducteurs amorphes
- Filtres optiques
- Optique intégrée
mots clés
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Titre traduit
Deposition by electron cyclotron resonance plasma of silicon alloys for applications in optics
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