Dépôt par plasma en résonance cyclotron électronique d'alliages de silicium pour applications optiques

par Gregory Girard

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Jean-Eric Bourée.

Soutenue en 2004

à Palaiseau, Ecole polytechnique .

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Informations

  • Détails : 1 vol. (214 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. 123 réf.

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  • Bibliothèque : École polytechnique. Bibliothèque Centrale.
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