Interaction de l'hydrogène atomique avec les surfaces de silicium : réalisation du système expérimental, caractérisation et premiers résultats

par Regis Bisson

Thèse de doctorat en Sciences physiques

Sous la direction de Marc Chatelet.

Soutenue en 2004

à Palaiseau, Ecole polytechnique .

mots clés

• Dynamique
• Désorption
• Collision
• Source d'hydrogène
• Spectroscopie rovibrationnelle
• Résolution angulaire

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Titre traduit

Interaction of atomic hydrogen with silicon surfaces : design and realization of the experimental set-up, characterization and first results

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