Etude par spectroscopies électroniques de la nitruration du phosphure d'indium

par Matthieu Petit

Thèse de doctorat en Physique des matériaux

Sous la direction de Bernard Gruzza.

Soutenue en 2004

à Clermont-Ferrand 2 .

  • Titre traduit

    Study of the nitridation of indium phosphide by electronic spectroscopies


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  • Résumé

    Ce mémoire concerne la nitruration du phosphure d'indium. Cette étude fut menée grâce aux spectroscopies électroniques : AES,XPS, EELS et EPES. Les effets du bombardement ionique -étape préalable à la nitruration- et du chauffage à la température de nitruration ont été analysés. Le bombardement entraîne la création de cristallites d'indium métallique qui subissent une transformation 3D-2D sous l'effet de la température. La nitruration est réalisée sous ultravide. L'échantillon d'InP est exposé à un flux d'azote produit par une source à décharge haute tension. L'azote consomme les cristallites pour former de l'InN. Les effets du temps d'exposition au flux d'azote et de l'incidence du flux par rapport à la surface de l'échantillon ont été étudiés. Pour 40 minutes d'exposition sous une incidence rasante, les couches de nitrure sont les plus épaisses. Un recuit de ces couches sur substrat d'InP à 450°C a montré le pouvoir passivant du film de nitrure

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Informations

  • Détails : 1 vol. (150 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Bibliothèque Clermont Université (Aubière). Section Sciences et Techniques.
  • Disponible pour le PEB
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