Elaboration par pulvérisation cathodique et caractérisations électriques de films minces de PZT

par Gwénae͏̈l Le Rhun

Thèse de doctorat en Chimie des matériaux

Sous la direction de Gilles Poullain.

Soutenue en 2004

à Caen .


  • Résumé

    Ce travail porte sur la caractérisation des propriétés ferroélectriques et diélectriques de films minces de PbZrxTi1-xO3 (PZT) élaborés par pulvérisation cathodique. Les conditions générales d'élaboration des structures métal-ferroélectrique-métal (MFM) sont présentées en insistant tout particulièrement sur l'importance de la qualité de fabrication de l'électrode inférieure. L'influence de la pression partielle en oxygène sur les propriétés électriques des films de PZT en fonction de l'orientation cristallographique et de la composition a également été mise en évidence. Nous nous sommes ensuite intéressés à la compréhension des mécanismes à l'origine de la dégradation des propriétés des condensateurs ferroélectriques PT/PZT/PT. L'existence d'une charge d'espace à l'interface PZT/PT permet d'expliquer le phénomène d'imprint (décalage du cycle d'hysteresis le long de l'axe de champ électrique) ainsi que les variations du champ coercitif observées en fonction de l'épaisseur du film ferroélectrique. Par ailleurs, un modèle de fatigue basé sur le piégeage/dépiégeage de porteurs dans les états d'interface de la structure MFM a été présenté. En particulier, ce modèle prédit la saturation de la fatigue en accord avec de nombreux résultats expérimentaux.


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Informations

  • Détails : 1 vol. (182 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Notes bibliogr.

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  • Bibliothèque : Université de Caen Normandie. Bibliothèque Rosalind Franklin (Sciences-STAPS).
  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : TCAS-2004-30
  • Bibliothèque : Université de Caen Normandie. Bibliothèque Rosalind Franklin (Sciences-STAPS).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TCAS-2004-30bis
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