Contribution à la modélisation et au développement expérimental de la technique d'acoustique picoseconde pour l'analyse des circuits intégrés

Contribution to modeling and to experimental development of the picosecond ultrasonics technique for the analysis of integrated circuits

• Auteur / Autrice : Grégory Andriamonje
• Direction : Yves Ousten
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Sciences physiques et de l'ingénieur. Électronique
• Date : Soutenance en 2004
• Etablissement(s) : Bordeaux 1

Mots clés

Mots clés contrôlés

Interférométrie

Spectroscopie de réflectance

Circuits intégrés

Impulsions laser ultra-brèves

Contrôle par émission acoustique

Résumé

Ce travail présente l'application de la technique d'acoustique picoseconde à l'analyse des circuits intégrés. Le principe est de générer et de détecter des ondes acoustiques de très haute fréquence au moyen d'impulsions laser ultracourtes. Un dispositif expérimental a été conçu basé sur le principe de l'terféromètre de Sagnac. Un simulateur numérique a été développé afin d'aider à l'interprétation des résultats expérimentaux. Le potentiel de la technique pour la caractérisation et l'analyse non destructive de composants microélectroniques est illustrè à travers plusieurs résultats expérimentaux.