Nitruration de verres conducteurs ioniques en couches minces

par Yohann Hamon

Thèse de doctorat en Sciences chimiques. Physicochimie de la matière condensée

Sous la direction de Alain Levasseur.

Soutenue en 2004

à Bordeaux 1 .


  • Résumé

    Des couches minces de verres conducteurs ioniques nitrurés ont été déposées par pulvérisation cathodique magnétron réactive haute fréquence. Les verres sont particulièrement adaptés à une utilisation en tant qu'électrolyte dans les microsystèmes électrochimiques et, dans le cas des verres phosphates, il a d́éjà été montré que l'incorporation d'azote au réseau vitreux augmentait considérablement la conductivité ionique des couches minces déposées. Pour commencer, l'appareillage de mesure permettant la caractérisation des propriétés de conduction des couches minces a été développé. Ensuite, une étude de l'influence des différents paramètres de dépôt sur les propriétés et la composition de couches minces de LiPON - un verre phosphate nitruré obtenu par pulvérisation d'une cible Li3PO4 - a été réalisée. Enfin, une fois l'influence des paramètres de dépôt sur la nitruration connue, des essais de dépôt de verres borates nitrurés ont été entrepris.

  • Titre traduit

    Nitridation of vitreous ionic conductors in thin films


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Informations

  • Détails : VIII-125 p.
  • Notes : Reproduction de la thèse autorisée
  • Annexes : Bibliogr. p. 119-125

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