TY  - THES
DP  - 
		http://www.theses.fr/2004AIX22026
TI  - Etude des mécanismes de collage des microsystèmes lors de la phase de libération : mise en oeuvre de moyens de prévention
AU  - Raccurt, Olivier
A3  - Arnaud d'Avitaya, François
PY  - 2004
SP  - xvi,167 p.
N1  - Thèse de doctorat Physique et sciences de la matière. Science des matériaux Aix-Marseille 2 2004
N1  - 2004AIX22026
ER  -