Etude des mécanismes de collage des microsystèmes lors de la phase de libération : Mise en oeuvre de moyens de prévention

par Olivier Raccurt

Thèse de doctorat en Physique et sciences de la matière. Science des matériaux

Sous la direction de François Arnaud d'Avitaya.

  • Titre traduit

    Study of the stiction mechanism during the release step of MEMS : Application of solution to prevent stiction


  • Pas de résumé disponible.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : xvi,167 p.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr.p.145-166

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université Aix-Marseille (Marseille. Luminy). Service commun de la documentation. Bibliothèque de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 39953
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.