Etude des mécanismes de collage des microsystèmes lors de la phase de libération : Mise en oeuvre de moyens de prévention

par Olivier Raccurt

Thèse de doctorat en Physique et sciences de la matière. Science des matériaux

Sous la direction de François Arnaud d'Avitaya.

Soutenue en 2004

à Aix-Marseille 2 , en partenariat avec Université d'Aix-Marseille II. Faculté des sciences (autre partenaire) .

  • Titre traduit

    Study of the stiction mechanism during the release step of MEMS : Application of solution to prevent stiction


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Informations

  • Détails : xvi,167 p.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr.p.145-166

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université Aix-Marseille (Marseille. Luminy). Service commun de la documentation. Bibliothèque de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 39953
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