Couches à faibles permittivités diélectriques élaborées par plasma micro-onde d'organosilicies : identification et étude des paramètres contrôlant la permittivité

par Aziz Zenasni

Thèse de doctorat en Physique et ingénierie des plasmas de décharge : plasmas et matériaux

Sous la direction de Yvan Ségui.

Soutenue en 2003

à Toulouse 3 .

mots clés

• Permittivité
• Parties diélectriques
• Plasma
• Couches minces
• Polarisation
• Diélectrique
• Hexaméthyldisiloxane
• Tétraéthoxysilane
• Diphénylméthylsilane
• Cinétique chimique -- Modèles mathématiques
• Disjoncteurs électriques
• Arc électrique
• Plasmas, Dynamique des
• Plasma sanguin
• Couches minces

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Titre traduit

Study of low K dielectric elaborated by organosilicon microware plasma : investigation on the origin of permitivity evolution

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