Couches à faibles permittivités diélectriques élaborées par plasma micro-onde d'organosilicies : identification et étude des paramètres contrôlant la permittivité

par Aziz Zenasni

Thèse de doctorat en Physique et ingénierie des plasmas de décharge : plasmas et matériaux

Sous la direction de Yvan Ségui.

Soutenue en 2003

à Toulouse 3 .

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Informations

  • Détails : 217 f.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. non paginée

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  • Bibliothèque : Université Paul Sabatier. Bibliothèque universitaire de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 2003TOU30088
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