Etude de la dynamique de charges par microscopie à force électrostatique : exemple des isolants à grande constante diélectrique

par Jérôme Lambert

Thèse de doctorat en Physique des solides

Sous la direction de Michel Saint Jean.

Soutenue en 2003

à Paris 7 .


  • Résumé

    On utilise un microscope à force électrostatique (MFE) élaboré au laboratoire pour étudier l'injection et la dynamique de charges dans des couches minces d'isolants à grande constante diélectrique (SiO2,TaA, A12O3). Après avoir étudié théoriquement et expérimentalement la réponse de l'instrument à une distribution de charges quelconque à la surface d'une couche mince il est utilisé pour caractériser des distributions de charges statiques (charges de polarisation) et mobiles lors des phases d'injection et de diffusion de ces charges. Plusieurs régimes de transport sont mis en évidence et associés à l'hétérogénéité de la répartition des pièges vecteurs du transport de charges dans la couche. On tire enfin parti de la résolution spatiale offerte par le MFE pour étudier la déformation d'un paquet de charges sous l'influence d'un champ parallèle à la surface de l'isolant afin de déterminer si le transport est de type diffusif ou dispersif.

  • Titre traduit

    Study of charge dynamic by electrostatic force microscopy : the exemple of high-k dielectrics


  • Pas de résumé disponible.


  • Résumé

    An electrostatic force microscope (EFM), made in the laboratory, is used to study both charge injection and dynamic in thin insulating layers (SiO2,TaA, A12O3). An experimental and theoretical study of the response of the instrument is first performed. The EFM is then used to characterize static charge distribution (corresponding to polarization charges) and mobile charges during the injection and diffusion stages. Several transport regimes are highlighted and associated to the heterogeneity of the trap distribution in the layers, these latter enabling charge transport in the layers. Finally, the spatial resolution of the EFM is used to study the deformation of a charge packet in the direct space under the influence of an electric field parallel to the surface in order to determine the type of transport, dispersive or diffusive, involved in the motion of the charges.

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Informations

  • Détails : 1 vol. (190 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : 152 réf.

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université Paris Diderot - Paris 7. Service commun de la documentation. Bibliothèque Universitaire des Grands Moulins.
  • PEB soumis à condition
  • Cote : TS (2003) 255
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