Dépôt de films minces de TaSiN et d'IrO2 par pulvérisation cathodique réactive : optimisation en tant que barrière de diffusion à l'oxygène et électrode
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Auteur / Autrice : | Franck Letendu |
Direction : | Bernard Agius, Marie-Christine Hugon |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Physique des matériaux |
Date : | Soutenance en 2003 |
Etablissement(s) : | Paris 7 |
Mots clés
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