Contribution aux études d'intéraction d'ions Ne9+ au dessus et sous des surfaces diélectriques et métalliques : application à la caractérisation de la gravure de dioxyde d'hafnium

par Sébastien Daveau

Thèse de doctorat en Physique et technologie des grands instruments

Sous la direction de Jean-Pierre Briand.

Soutenue en 2003

à Paris 6 .

  • Titre traduit

    Contribution to studies interaction of Ne9+ ions above and below diélectrics and metals surfaces : application to the caracterisation of the hafnium dioxyde sputtering


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  • Détails : 118 f.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. f. 115-118

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