Réalisation par gravure RIBE de guides optiques en polyimide : Contribution à leur caractérisation dans un modulateur électrooptique

par Charles Cornic

Thèse de doctorat en Électronique des hautes fréquences et optoélectronique

Sous la direction de André Moliton et de Bruno Lucas.

Soutenue en 2003

à Limoges , en partenariat avec Université de Limoges. Faculté des sciences et techniques (autre partenaire) .


  • Résumé

    Ce travail est consacré à la mise au point de filières technologiques permettant de montrer la faisabilité d'un modulateur de phase à base de matériaux organiques. Nous avons décrit les étapes technologiques permettant de réaliser des guides d'ondes optiques à base d'un polyimide fluoré le 6FDA/MPDA. Elles s'appuient principalement sur l'utilisation de la photolithographie et la gravure RIBE. Grâce à ces procédés, nous avons obtenu des guides d'ondes présentant des parois verticales. Des pertes par propagation de l'ordre de 0,5 dB/cm à la longueur d'onde de 1,3 micron ont été mesurées par la méthode CutBack. Pour la réalisation d'un modulateur de phase tout polymère nous avons utilisé comme couche guidante le même polyimide fluoré fonctionnalisé avec un colorant le DR1 cette couche est prise en sandwich entre deux couches de matériaux organiques. A l'aide d'une caméra infra rouge, nous avons montré la propagation de l'onde guidée et validé ainsi tout un ensemble de procédés technologiques.

  • Titre traduit

    Realisation of opticals waveguides by RIBE Etching : Contribution at their caracterisation in a electrooptique modulator


  • Résumé

    This work is devoted to the development of technology courses which enables to show the making of a phase modulator based on organic materials. At first, a semi-conductor technology has to be adapted to the polymers to elaborate wave-guides, then to realise the piling up of layers of passive or active polymers. We described the technological stages which enable to realise optical waveguides based on a fluorinated polyimide, 6FDA/MPDA. They mainly rely on the use of photolithography and RIBE. Thanks to RIBE we obtained waveguides which present vertical walls. Losses by propagaton of 0,5 dB/cm at the wavelength of 1,3 micron were measured by the Cut-Back method. For the realisation of the phase modulator, as guiding layer we used the same fluorinated poyimide mixed with a dye (DR1); this layer is sandwiched between two layers of organic materials. Then thanks to an infra red camera, we showed the propagation of the guided wave and thus validated a whole technological process course.

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Informations

  • Détails : 171 p.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Notes bibliogr.

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  • Disponible pour le PEB
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