Microcaractérisation des matériaux et structures issus des technologies microsystèmes

par Sébastien Rigo

Thèse de doctorat en Sciences des matériaux

Sous la direction de Jacques-Alain Petit.

Soutenue en 2003

à Toulouse, INPT .


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  • Résumé

    Bien que le concept de micro-machines soit relativement ancien, la mise en oeuvre de nouveaux matériaux à l'échelle microscopique nécessite de lourds travaux de recherche et de développement que peu d'industriels osent entreprendre. L'étude rapportée ici en est une contribution. Elle porte sur le développement et l'utilisation de moyens de microcaractérisation mécanique adaptés aux technologies microsystèmes de type MEMS (Micro Electro Mechanical Systems). En ce sens plusieurs techniques, telles que la nanoindentation, la microscopie confocale et la micro-diffraction RX, ont été utilisées. Elles nous ont permis la mise au point de méthodes permettant l'extraction du module de Young, de la dureté, de la ténacité, du coefficient de frottement, de la raideur et du gradient de contrainte résiduelle dans les couches. Nous disposons dorénavant d'une large palette de techniques de microcarctérisation qui permettront d'assurer un contrôle qualité et l'analyse des défaillances des MEMS.

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La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 164 p.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p.138-139

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Ecole nationale supérieure d'ingénieurs en arts chimiques et technologiques. Service de documentation.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TG 2003 RIG
  • Bibliothèque : Ecole nationale d'ingénieurs de Tarbes. Bibliothèque.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TH RIG 2003
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