Microcaractérisation des matériaux et structures issus des technologies microsystèmes

• Auteur / Autrice : Sébastien Rigo
• Direction : Jacques-Alain Petit
• Type : Thèse de doctorat
• Discipline(s) : Sciences des matériaux
• Date : Soutenance en 2003
• Etablissement(s) : Toulouse, INPT

Mots clés

Mots clés contrôlés

Microtechniques

Science des matériaux

Résumé

Bien que le concept de micro-machines soit relativement ancien, la mise en oeuvre de nouveaux matériaux à l'échelle microscopique nécessite de lourds travaux de recherche et de développement que peu d'industriels osent entreprendre. L'étude rapportée ici en est une contribution. Elle porte sur le développement et l'utilisation de moyens de microcaractérisation mécanique adaptés aux technologies microsystèmes de type MEMS (Micro Electro Mechanical Systems). En ce sens plusieurs techniques, telles que la nanoindentation, la microscopie confocale et la micro-diffraction RX, ont été utilisées. Elles nous ont permis la mise au point de méthodes permettant l'extraction du module de Young, de la dureté, de la ténacité, du coefficient de frottement, de la raideur et du gradient de contrainte résiduelle dans les couches. Nous disposons dorénavant d'une large palette de techniques de microcarctérisation qui permettront d'assurer un contrôle qualité et l'analyse des défaillances des MEMS.