Modeling of mask manufacturing process using laser pattern generator tools, to define mask resolution enhancement technologies and to correct mask proximity effects

par Alexandra-Charlotte Barberet

Thèse de doctorat en Micro-électronique

Sous la direction de Nadine Guillemot.

Soutenue en 2003

à Grenoble, INPG .

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Informations

  • Détails : 243 p.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. 235-243

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  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : TS03/INPG/0002
  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS03/INPG/0002/D
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