Dépôts chimiques en phase vapeur d'hétérostructures Si/Si(1-x-y)Ge(x)C(y) et Si/Si(1-y)C(y) : application aux transistors n et pMOS à canaux épitaxiés

par Virginie Loup

Thèse de doctorat en Physique des matériaux

Sous la direction de Daniel Bouchier.

Soutenue en 2003

à l'Université Joseph Fourier (Grenoble) .

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  • Détails : 230 p.
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  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : TS03/GRE1/0011
  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS03/GRE1/0011/D
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