Modélisation et caractérisation de composants d'optique intégrée réalisés par implantation d'ions titane

par Emmanuel Drouard

Thèse de doctorat en Électronique, optique et systèmes

Sous la direction de François Flory et de Ludovic Escoubas.

Soutenue en 2003

à Aix-Marseille 3 .

  • Titre traduit

    Modeling and characterization of integrated optics components fabricated using titanium ion implantation


  • Résumé

    Nous étudions, en collaboration avec la société SILIOS Technologies, le potentiel de l’implantation d’ions titane pour réaliser des composants d’optique intégrée. L’indice de réfraction de la silice étant ainsi accru, nous développons des guides d’ondes d’atténuation variant de 0,1 à 0,6 dB/cm, en fonction de la dose implantée et après optimisation du recuit. Leurs indices effectifs augmentent avec la dose. A faible dose, le couplage fibre optique – guide atteint 90%. A forte dose, des guides courbes de rayon aussi faible que 500 µm transmettent 90% de l’énergie. Nos mesures confirment les modélisations. Un adaptateur de mode original assure la transition entre guides à faible et fort confinement. Trois solutions originales peuvent corriger la sensibilité à la polarisation de ces guides : l’implantation latérale, l’anisotropie artificielle du cœur ou la rotation de l’état polarisation. Enfin des filtres spectraux en amplitude et en phase sont synthétisés en guides plans segmentés.


  • Résumé

    We study, in collaboration with the company SILIOS Technologies, the potential of titanium ion implantation for fabricating integrated optics components. As the refractive index of silica is increased, we develop waveguides exhibiting an attenuation between 0. 1 and 0. 6 dB/cm, depending of the implanted dose and after the optimization of the annealing. Their effective indices increase with the dose. At a low dose, the coupling between a fibre and a waveguide reaches 90%. At a high dose, bend waveguides of radius as small as 500 µm transmit 90 % of the energy. Our measurements agree well with the modeling. A new mode converter links the waveguides of low and high confinement. Three solutions have been found to correct the polarization sensitivity of the waveguides: the lateral implantation, the artificial anisotropy of the core and the rotation of the polarization state. Finally, spectral filters in amplitude or in phase are synthesized using segmented planar waveguides.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 193 p.
  • Notes : Thèse confidentielle jusqu'en 2008
  • Annexes : Notes bibliogr.

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université d'Aix-Marseille (Marseille. Saint-Jérôme). Service commun de la documentation. Bibliothèque de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : T 3143
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.