Nanocircuits en silicium sur isolant élaborés par microscopie à force atomique

par Nicolas Clément

Thèse de doctorat en Science des Matériaux.Nanoélectronique

Sous la direction de Viatcheslav [Slava] Safarov.

Soutenue en 2003

à Aix-Marseille 2 , en partenariat avec Université d'Aix-Marseille II. Faculté des sciences (autre partenaire) .

  • Titre traduit

    Silicon-On-Insulator nanocircuits realized by atomic force microscope lithography


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Informations

  • Détails : 196 p.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr.en fin de chapitre

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université Aix-Marseille (Marseille. Luminy). Service commun de la documentation. Bibliothèque de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 38275
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