Microscopie optique en champ proche utilisant une sonde diffusante : étude de singularités électromagnétiques sur surfaces photosensibles : application à la nanophotolithographie

par Fekhra H'Dhili

Thèse de doctorat en Nanotechnologie

Sous la direction de Renaud Bachelot.

Soutenue en 2002

à Troyes .


  • Résumé

    Ce travail de thèse traite l'interaction d'un champ lumineux incident avec l'extrémité d'une sonde SNOM sans ouverture. Dans des conditions d'éclairage appropriées, une exaltation localisée du champ electromagnétique a lieu au voisinage immédiat de la pointe éclairée. Ce phénomène, connu sous l'effet de pointe optique, génère une source lumineuse très intense et fortement confinée spatialement à l'extrémité de la sonde. Une idée originale a été proposée pour mettre en évidence expérimentalement en champ proche cet effet de pointe et permettre d'entreprendre une étude paramétrique relativement complète d'un tel phénomène. Une modélisation numérique de ce dernier a été aussi effectuée et confrontée aux résultats expérimentaux obtenus. Cette étude a permis en définitive de dégager les conditions optimales d'excitation de la nanosource optique et de définir un protocole de lithographie optique avec une résolution manométrique

  • Titre traduit

    Scanning near-field optical microscopy using an apertureless probe : electromagnetic singularities study by means of photosensitive surfaces : application to the nanophotolithography


  • Résumé

    The present thesis work deals with the interaction of the incident light with the apertureless SNOM probe extremity. In appropriate illumination conditions, a local electromagnetic field enhancement can be occurred in the vicinity of the tip end. This phenomenon, known as optical tip effect, generates a high spatially confined light source at the tip apex. An original experimental approach is reported to display directly in near-field this tip effect and to allow a full parametric study of such phenomenon. A numerical simulation of this latter has also been performed and compared to the obtained experimental results. This study allows us at last to optimize the suitable conditions to excite the optical nanosource and to introduce an optical lithography protocol with a nanometric resolution

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Informations

  • Détails : 169 p.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. 159-169

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  • Bibliothèque : Université de Technologie. Service commun de la documentation.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : THE 02 HDH
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