Dépôts PECVD de composés de silicium sur polymères : étude de la première phase des dépôts

par Gilles Dennler

Thèse de doctorat en Physique et ingénierie des plasmas. Génie physique

Sous la direction de Yvan Ségui et de Michael R. Wertheimer.

Soutenue en 2002

à Toulouse 3 en cotutelle avec l'Ecole polytechnique (Montréal, Canada) .

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La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 260 p.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. 231-242

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université Paul Sabatier. Bibliothèque universitaire de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 2002TOU30239
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