Mécanismes de croissance et caractérisation de films d'oxyde chimique sur faces (100) du silicium monocristallin : applications

par Sébastien Petitdidier

Thèse de doctorat en Électrochimie

Under the supervision of Marius Chemla.

Soutenue en 2002

in Paris 6 .

  • Alternative Title

    Growth mechanisms and characterization of cheminal oxide layers on (100) oriented surfaces of silicon single crystals : applications


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Informations

  • Détails : 179 p.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. 167-175

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  • Bibliothèque : Université Pierre et Marie Curie. Bibliothèque Universitaire Pierre et Marie Curie. Section Biologie-Chimie-Physique Recherche.
  • Consultable sur place dans l'établissement demandeur
  • Cote : T Paris 6 2002 296
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