Modélisation d'un réacteur RF à couplage capacitif en mélange Ar-O2 dans les conditions utilisées pour le procédé de dépôt par voie plasma d'oxyde d'étain

par Willy Morscheidt

Thèse de doctorat en Génie des procédés et haute technologie

Sous la direction de Farzaneh Arefi-Khonsari.

Soutenue en 2002

à Paris 6 .

  • Titre traduit

    Modelling of a RF capacitively coupled reactor in ar-O2 mixtures in the conditions for tin oxide deposition through plasma processes


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Informations

  • Détails : 244 p.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. 233-235

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  • Bibliothèque : Université Pierre et Marie Curie. Bibliothèque Universitaire Pierre et Marie Curie. Section Biologie-Chimie-Physique Recherche.
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  • Cote : T Paris 6 2002 266
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