Etude et réalisation de microcapteurs thermiques : anémomètre et accéléromètre thermique

par Frédérick Mailly

Thèse de doctorat en Électronique, optronique et systèmes

Sous la direction de André-René Boyer.

Soutenue en 2002

à Montpellier 2 .

mots clés

• Microcapteurs -- Propriétés thermiques
• Microcapteurs -- Essais
• Platine -- Couches minces
• Accéléromètres
• Anémomètres à fil chaud

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Titre traduit

Study and manufacturing of thermal microsensors : anemometer and thermal accelerometer

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