Developpement de technologies microelectroniques sur verre. Applications aux antennes microondes embarquees

par MATHIEU BOURRY

Thèse de doctorat en Sciences et techniques

Sous la direction de M'HAMED DRISSI.

Soutenue en 2002

à l'INSA RENNES .

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  • Résumé

    Cette these s'inscrit dans les projets portant sur les systemes its (intelligent transportation systems) qui ont pour but d'aider a la gestion du trafic autoroutier et urbain, tel le telepeage. L'etude a ete effectuee au lcst (laboratoire composants et systemes pour telecommunications) de l'insa de rennes, avec la collaboration du gmv (groupe de microelectronique et visualisation) de l'universite de rennes i. Ce travail de recherche porte sur la conception et la realisation d'antennes fonctionnant a 5. 8 ghz embarquees sur vehicules. Notre choix s'est oriente vers une technologie sur verre associee a differents materiaux de metallisations en couches minces, dont certaines sont transparentes. Ce choix permet une meilleure integration dans l'environnement du vehicule. Ainsi une antenne elliptique en aluminium sur verre a polarisation circulaire a ete developpee et realisee en salle blanche. Ses performances radioelectriques de meme que la qualite de sa polarisation circulaire ont ete mesurees. Nous avons pu egalement estimer et tirer avantages de l'effet d'un radome constitue par une couche mince dielectrique en oxyde de silicium depose par apcvd sur la couche d'aluminium. Par ailleurs, nous avons developpe et teste de nouvelles couches de metallisations translucides, deposees a partir d'une cible d'oxyde d'indium dope a l'etain (ito) sous une atmosphere non oxydante. Nous avons ainsi obtenu un nouvel alliage depose sous atmosphere azotee qui a montre de nombreuses ameliorations du point de vue de sa structure, du cout thermique, de ses proprietes electriques et radioelectriques, par rapport a des couches d'ito deposees en presence d'oxygene. Le developpement d'un prototype d'antenne active y est finalement aborde par une approche electromagnetique globale.

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Informations

  • Détails : 202 p.
  • Annexes : 83 ref.

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  • Bibliothèque : Institut National des Sciences Appliquées. Bibliothèque.
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