Elaboration de couches minces de tantale par dépôt chimique à partir de la phase vapeur TaCl5-H2 et caractérisations structurales et anti-corrosionbTexte imprimé

par Alexandra Levesque

Thèse de doctorat en Sciences. Génie des procédés. Sciences des matériaux

Sous la direction de Anne Bouteville.

Soutenue en 2002

à Paris, ENSAM .

  • Titre traduit

    Development of tantalum thin films by chemical vapor déposition from the gazeous phase TaCl5-H2 and characterizations structural and anti-corrosion


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Informations

  • Détails : 1 vol. (233 f.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. 140 réf.

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