Etude de nouvelles structures pour la conception et la fabrication de filtres à ondes acoustiques guidées haute fréquence

par Thomas Pastureaud

Thèse de doctorat en Sciences pour l'ingénieur

Sous la direction de Sylvain Ballandras.

Soutenue en 2002

à Besançon , en partenariat avec Université de Franche-comté. UFR des sciences et techniques (autre partenaire) .


  • Résumé

    La modélisation de la propagation des ondes acoustiques de surface suscite un vif intérêt pour la conception de filtres fréquentiels de petite taille. Le filtrage radiofréquence impose l'étude de nouvelles structures pour améliorer les solutions actuelles. Dans cette optique, les travaux présentés démontrent la faisabilité de filtres radiofréquence efficaces sur des structures utilisant des couches minces piézoélectriques. Des modèles adaptés aux structures stratifiées ont donc été développés pour caractériser les modes acoustiques. Les prévisions théoriques sont confrontées à l'expérience dans le cadre du projet OASIS où un procédé technologique innovant est mis en œuvre pour le transfert de films piézoélectriques orientés sur silicium. La propagation acoustique dans des plaques piézoélectriques est également étudiée pour des applications capteurs. Enfin, des géométries d'excitation originales sont présentées pour la conception des futurs dispositifs haute fréquence compacts.

  • Titre traduit

    Analysis of novel structures for the conception and manufacturing of high frequency filters using acoustic guided waves


  • Résumé

    The mobile phone industry needs for small frequency filtering devices have recently created a strong interest in the simulation of surface acoustic waves propagation. RF range filtering lays stress on the need for new structures, to bypass the drawbacks of formerly used technical solutions. In this context, the reported work shows that efficient RF filters can be designed on stratified structures using thin films. Specific models were developed to characterize the acoustic propagation in such layered media. Theoretical results are compared to experimental measurements performed within the OASIS project. Indeed, the technological part of the project is focussed on a new process for transferring oriented films on silicon substrates. Acoustic propagation in piezoelectric plates is also analysed for sensor applications. Finally, novel excitation geometries are studied in order to design future high frequency compact devices.

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La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 1 vol. (250 p.); ill. ; 30 cm
  • Notes : Reproduction de la thèse autorisée
  • Annexes : Bibliographie p. 239-247

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Bibliothèque universitaire Sciences - Sport (Besançon).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : SCI.BESA.2002.132
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