Etude des procédés de nettoyage des substrats de silicium en microélectronique

par François Tardif

Thèse de doctorat en Physique et sciences de la matière. Science des matériaux

Sous la direction de François Arnaud d'Avitaya.

Soutenue en 2002

à Aix Marseille 2 , en partenariat avec Université d'Aix-Marseille II. Faculté des sciences (autre partenaire) .

  • Titre traduit

    Study of the cleaning processes of silicon substrates in microelectronics


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Informations

  • Détails : 188 p.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr.: p.89-91

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