Traitement des plaquettes de GaAs (100) de grand diamètre : mise au point du procédé, préparation et caractérisations de surface pour l'épitaxie par jets moléculaires

par Fabienne Negri

Thèse de doctorat en Microélectronique. Optoélectronique

Sous la direction de Elena Bedel-Pereira.

Soutenue en 2001

à Toulouse 3 .

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Informations

  • Détails : 1 vol. (194 f.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. à la fin des chapitres

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université Paul Sabatier. Bibliothèque universitaire de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 2001TOU30208
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