Etude et realisation de micro-faisceaux de rayons x par capillaires. Application a l'etude des semi-conducteurs

par JEAN-LUC BALTZINGER

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de CHARLES BURGGRAF.

Soutenue en 2001

à Strasbourg 1 .

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  • Résumé

    Caracteriser les semi-conducteurs necessite le developpement de micro-sondes dont la resolution spatiale est inferieure au micron. Dans cette etude, la focalisation submicronique des rayons x a ete rendue possible grace a la mise au point de capillaires. Une modelisation par la loi de poisson de ces capillaires et leur fabrication pilotee par ordinateur sont presentes. Le semi-conducteur czt a ete ainsi etudie par cette technique pour caracteriser la repartition du zn a la surface du composant, repartition obeissant a la loi de fick. La cristallinite d'une jonction si-cu a egalement ete etudiee. Enfin le developpement d'un tube de rayon x a foyer ponctuel et a balayage pour une matrice de capillaires adapte a un appareil xps est propose pour l'analyse non destructive des micro-plaquettes en ligne de fabrication.

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Informations

  • Détails : 106 p.
  • Annexes : 45 ref.

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  • Bibliothèque : Université de Strasbourg. Service commun de la documentation. Bibliothèque Blaise Pascal.
  • Disponible pour le PEB
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