Développement d'un nouveau système d'implantation ionique en immersion plasma et analyses des processus de nitruration de matériaux métalliques et semi-conducteurs

par Laurent Marot

Thèse de doctorat en Milieux denses et matériaux

Sous la direction de Alain Straboni.

  • Titre traduit

    Development of a new system of plasma based ion implantation and analysis of the nitridation mechanisms of metal and semiconductors


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Informations

  • Détails : [11], 161 p.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. 77 réf.

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