Cristallisation de couches minces de silicium par recuit rapide RTA pour applications micro-électronique

par Kyung Sook Kim-Verjus

Thèse de doctorat en Électronique

Sous la direction de Denis Mencaraglia.

Soutenue en 2001

à Paris 7 .

  • Titre traduit

    Crystallization of silicon thin films by annealing RTA for micro-electronic applications


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Informations

  • Détails : [172] p.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. 157-165

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université Paris Diderot - Paris 7. Service commun de la documentation. Bibliothèque Universitaire des Grands Moulins.
  • Accessible pour le PEB
  • Cote : TS2001
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