Etude et realisation d'un spectrometre par transformation de fourier, sans lame separatrice, pour le domaine spectral vuv-euv

par NELSON DE OLIVEIRA

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Denis Joyeux.

Soutenue en 2001

à Paris 6 .

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  • Résumé

    La spectrometrie par transformation de fourier (stf) est une technique absente en euv (=10nm-140nm), en depit de ses qualites intrinseques (pouvoir de resolution, exactitude des amplitudes, calibration sur une seule raie de reference). Ceci provient de la difficulte de realisation des lames separatrices indispensables au fonctionnement des interferometres a division d'amplitude, qui sont a la base de la stf dans le visible ou l'uv. L'interferometrie par division de front d'onde permet de contourner cette difficulte, les principes de base de la stf restant les memes (transformation de fourier du signal interferometrique echantillonne au cours du deplacement de l'un des deux miroirs de l'interferometre). Notre objectif etait de realiser un prototype sans separatrice couvrant le domaine spectral 50 nm, avec un pouvoir de resolution theorique maximum d'environ 400000. Pour y parvenir, nous avons developpe un interferometre vuv-euv du genre bimiroirs de fresnel, couple a un systeme de controle original du deplacement du miroir mobile. Il est base sur une stabilisation angulaire du reflecteur mobile, et sur une mesure interferometrique du deplacement, utilisant un laser he-ne stabilise. Le systeme delivre une impulsion tous les 29 nm en difference de marche, ce qui permet de travailler jusqu'a =56 nm, avec une resolution spectrale theorique =0. 33 cm 1 pour 512k echantillons (tf en cosinus). On a mesure experimentalement la fonction d'appareil en enregistrant l'interferogramme de la raie du laser de controle. L'etude du bruit dans le spectre permet d'estimer la dispersion du peigne d'echantillonnage a environ 0. 4 nm rms, ce qui permet d'obtenir une fonction d'appareil tres proche de la fonction theorique. Le dispositif experimental a ete concu directement pour etre implante dans un environnement sous vide pour 50 nm. De plus les principes de conceptions permettent une extension importante du domaine spectral accessible, sans aggravation forte des specifications.

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Informations

  • Détails : 103 p.
  • Annexes : 42 ref.

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  • Bibliothèque : Université Pierre et Marie Curie. Bibliothèque Universitaire Pierre et Marie Curie. Section Biologie-Chimie-Physique Recherche.
  • Disponible pour le PEB
  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : PMC RT P6 2001
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