Matrices de détecteurs bolométriques pour l'imagerie dans les bandes millimétriques : faisabilité, performances et réalisation d'un démonstrateur

par Olivier Savry

Thèse de doctorat en Microélectronique

Sous la direction de Alain Cappy.

Soutenue en 2001

à Grenoble INPG .

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  • Résumé

    Bien plus que la vision possible dans l'obscurite grace a la detection infrarouge, l'imagerie millimetrique passive permet egalement de voir a travers les nuages, le brouillard, la pluie, la fumee et meme des murs pas trop epais. Nous avons developpe pour ces longueurs d'onde des matrices monolithiques de bolometres a antenne en technologie de la micro-electronique et des micro-systemes. Le bolometre convertit le flux millimetrique en courant dans son antenne qui viennent echauffer par effet joule une resistance de charge, assurant aussi l'isolation thermique. L'echauffement est mesuree par une diode faite sur l'epitaxie silicium sur substrat soi. Elle permet un tci de 7 %/k. Pour une bande de 80 a 180 ghz, et en utilisant un chopper a 300 hz, on obtient une reponse de 8 a/w assurant un nep de 2. 5*10 1 3 w/hz 1 / 2 correspondant a une nedt de 3. 2 k/hz 1 / 2. On mesure une bande passante exceptionnelle de 250 hz avec une conductivite thermique de 3. 7*10 8 w/k.


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  • Détails : 1 vol. (221 p.)
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