Les couches minces de hfo 2. Etude de leurs heterogeneites d'indice de refraction et de leur interface avec sio 2

par GERALD THERET

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de ROLAND MADAR.

Soutenue en 2001

à Grenoble INPG .

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  • Résumé

    La comprehension et la maitrise des defauts presents dans les couches minces utilisees en optique est un enjeu important pour l'amelioration des performances des composants optiques, tel que des antireflets ou des miroirs. L'oxyde d'hafnium (hfo 2), materiau couramment utilise pour ce type d'application, presente frequemment comme defaut des heterogeneites d'indice de refraction lorsqu'il est depose par evaporation. Il a ete montre que l'apparition de ces defauts est liee a la temperature de depot. Plus precisement, ils sont dus, selon les conditions, soit a une elevation de la temperature des substrats pendant les depots, soit a la cristallisation des couches. Le second defaut rencontre dans ce materiau est la repartition des absorptions dans l'epaisseur des depots. Elles sont localisees dans les cinquante premiers nanometres des couches de hfo 2.


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Informations

  • Détails : 127 p.
  • Annexes : 88 ref.

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  • Disponible pour le PEB
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