Dépôt aérosol-gel et traitement basse température de couches minces de TiO2

par Montserrat Burgos Pidemunt

Thèse de doctorat en Science et Génie des matériaux

Sous la direction de Michel Langlet.

Soutenue en 2001

à Grenoble INPG .


  • Résumé

    Le procede aerosol-gel est une nouvelle technique de depot sol-gel. Son principe repose sur la pulverisation d'un sol par voie ultrasonore. Le travail presente dans cette these est ne d'un projet brite-euram. Il est issu d'une collaboration entre deux des partenaires de ce projet (inpg, indo s. A. ). Dans le cadre de cette these, nous avons travaille sur l'elaboration a basse temperature de couches tio 2 deposees par la methode aerosol-gel. Pour rendre ce procede compatible avec l'utilisation de substrats thermiquement sensibles, la temperature de recuit maximale a ete limitee a 110\c. Une premiere etude nous a aides a identifier les parametres chimiques permettant d'obtenir des solutions source stables et compatibles avec la technique aerosol-gel. Des couches homogenes ont ete elaborees a partir de ces solutions. Nous avons pu etablir que, comme consequence de la forte reactivite du precurseur et de la competition entre les processus de polycondensation et densification, les proprietes mecaniques finales de ces couches etaient fortement liees a la procedure de traitement thermique. Il n'etait pas possible d'obtenir des couches denses et completement developpees par recuit direct a 110\c. Nous avons donc ete amenes a definir un systeme de traitement en trois etapes qui permettait d'obtenir des couches de haut indice de refraction et mecaniquement resistantes. Dans le cas de substrats organiques qui presentaient un fort coefficient de dilatation thermique, une etape additionnelle sous atmosphere humide nous a permis d'eviter l'apparition des fissures. Les resultats, tant du point de vue chimique que technologique, permettent d'envisager des applications industrielles en optique ophtalmique ou dans d'autres domaines d'applications


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  • Détails : 1 vol. (190 p.)
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