Etude du dopage de type n du diamant au phosphore et au soufre

par Nicolas Casanova

Thèse de doctorat en Micro-électronique

Sous la direction de Alain Deneuville.

Soutenue en 2001

à l'Université Joseph Fourier (Grenoble) .

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  • Résumé

    En vue de la réalisation de dispositifs électroniques à base de diamant, nous avons étudié le dopage de type n au phosphore et au soufre de couches minces monocristallines de diamant élaborées par implantation ionique et par dépôt chimique en phase vapeur. Les films implantés au phosphore suivant la méthode CIRA ont été caractérisés par Résonance Paramagnétique Electronique. Les films dopés phosphore et soufre par dépôt chimique en phase vapeur ont été caractérisés à l'aide de mesure de diffusion Raman, de mesure d'absorption Infrarouge et de mesures électriques tel que des mesures de résistivité en fonction de la température et des mesures d'effet Hall.


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Informations

  • Détails : 158 p.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Notes bibliogr.

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  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : TS01/GRE1/0154
  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS01/GRE1/0154/D
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