Calcul des capacites parasites dans les interconnexions des circuits integres par une methode de domaines fictifs

par SYLVIE PUTOT

Thèse de doctorat en Sciences et techniques

Sous la direction de Patrick Witomski.

Soutenue en 2001

à Grenoble 1 .

    mots clés mots clés


  • Résumé

    Cette these presente une methode performante pour le calcul des capacites parasites dues aux interconnexions des circuits integres. Il s'agit de calculer la charge des conducteurs, comme la derivee normale a la surface de ces conducteurs, du potentiel solution de l'equation de laplace sur des couches horizontales, la valeur du potentiel etant fixee constante sur chaque conducteur. La difficulte de la resolution numerique provient de la complexite des structures : sur une portion de circuit d'une surface d'un centimetre carre et d'une hauteur de quelques microns, il peut y avoir plus d'un kilometre d'interconnexions, c'est-a-dire de fils conducteurs enchevetres. Une methode de domaines fictifs avec multiplicateurs de lagrange surfaciques est utilisee. Elle donne une formulation mixte du probleme, couplant le potentiel sur un domaine parallelepipedique contenant le circuit, et la charge a la surface des conducteurs. Nous en proposons une approximation, qui tient compte du saut du gradient du potentiel a travers la surface des conducteurs dans la discretisation du potentiel, tout en menant a un systeme que l'on peut resoudre par une methode rapide. Cette approximation garantit une bonne convergence du calcul de la charge vers la valeur reelle, sans condition de compatibilite contraignante entre les maillages de volume et de surface. Une implementation efficace en dimension 3, avec laquelle nous avons effectue des tests numeriques sur des structures reelles, permet de montrer l'interet de la methode, en temps de calcul et en place memoire.


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Informations

  • Détails : 165 p.
  • Annexes : 32 ref.

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