Apport de l'inspection haute résolution à l'étude de matériaux ferroélectriques en couches minces. Activité électro-optique champ lointain d'un fluide électrorhéologique

par Christophe Thiébaud

Thèse de doctorat en Sciences pour l'ingénieur

Sous la direction de Daniel Van Labeke.

Soutenue en 2001

à Besançon , en partenariat avec Université de Franche-comté. UFR des sciences et techniques (autre partenaire) .


  • Résumé

    Ce travail s'inscrit dans une thématique liée à l'étude des propriétés électro-optiques de deux matériaux ferroélectriques, PZT et (LiNbO3), et d'un fluide électrorhéologique. Dans une première partie, nous présentons le procédé sol-gel et la réalisation d'une solution, pour le dépôt de couches minces de PZT. Leur caractérisation valide la possibilité d'obtenir des films minces ferroélectriques suivant cette technique. Une seconde partie est consacrée à la description d'un microscope optique en champ proche, fonctionnant en mode RSNOM, initialement conçu au laboratoire, et dont nous avons poursuivi le développement et la caractérisation. Ses fonctionnalités (fiabilité, résolution topographique) permettent l'inspection haute résolution, topographique et optique, des couches minces ferroélectriques précédemment caractérisées. Après un rappel sur le formalismes des propriétés électro-optiques, nous avons mis en évidence par voie optique, au moyen d'une excitation et d'une modulation électrique, la présence de domaines ferroélectriques inversement polarisés au sein d'un cristal de niobate de lithium (LiNbO3). Les observations sont réalisées à l'aide du microscope optique RSNOM. Des essais sur des films de PZT, artificiellement polarisés ou non, sont également menés. La polarisation locale contrôlée des films de PZT confirme leur aptitude comme support de mémoires ferroélectriques non-volatiles, dont le principe est abordé. Une dernière partie est consacrée à la mise en évidence optique du phénomène électrorhéologique au sein de fluides spécialement élaborés. En annexe des travaux précédents, un code de simulation sur Ansys est développé pour l'étude du comportement d'un dispositif résonant en microscopie champ proche : le diapason.

  • Titre traduit

    High resolution inspection of ferroelectric thin films. Far-field electro-optical activity of electrrheological fluids


  • Pas de résumé disponible.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 174 p.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. 159-167

Où se trouve cette thèse ?