Etude microstructurale de couches minces de carbone amorphe azotées déposées par pulvérisation cathodique magnétron radio fréquence et PECVD-ECR

par Olivier Durand-Drouhin

Thèse de doctorat en Physique de la matière condensée

Sous la direction de Kacem Zellama.

Soutenue en 2001

à Amiens .

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Informations

  • Détails : 159 p.
  • Annexes : Bibliogr. p. 160-164

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  • Cote : T 51 2001-2

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  • PEB soumis à condition
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