Analyse des données, modélisation et commande pour la microscopie en champ proche utilisant des actionneurs piézoélectriques

par Nicolas Bonnail

Thèse de doctorat en Sciences des matériaux

Sous la direction de Hervé Dallaporta.

Soutenue en 2001

à Aix-Marseille 2 , en partenariat avec Université d'Aix-Marseille II. Faculté des sciences (autre partenaire) .

mots clés

• Industrie -- Informatique
• Céramiques piézoélectriques

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Titre traduit

Data analysis, model and control for scanning probe microscopy using piezoelectric actuators

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