Micromiroir rotatif à actionnement électrostatique réalisé en technologie silicium : de la conception à la caractérisation

par Franck Larnaudie

Thèse de doctorat en Matériaux, technologie et composants de l'électronique

Sous la direction de Maurice Briot et de Henri Camon.

Soutenue en 2000

à Toulouse 3 .

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Informations

  • Détails : 156 f.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. f. 149-156

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université Paul Sabatier. Bibliothèque universitaire de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 2000TOU30190
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