Caracterisations physico-chimiques et modelisation de la diffusion du beryllium dans les heterostructures iii-v epitaxiees sur inp

par OLIVIER VALET

Thèse de doctorat en Sciences et techniques

Sous la direction de Kaouther Kétata.

Soutenue en 2000

à Rouen .

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  • Résumé

    Dans le but d'ameliorer les performances frequentielles des transistors bipolaires a double heterojonction (tbdh) ingaas/inp concus au cnet de bagneux, ce travail de these concerne la modelisation de la diffusion du dopant de base (beryllium) pouvant intervenir au cours des traitements thermiques lors des etapes de fabrication. Afin de prevoir et de controler cette diffusion indesirable, une importante etude experimentale comprenant l'obtention de profils de concentration en profondeur du be dans des structures epitaxiees par gsmbe (homojonctions ingaas et ingaasp et heterojonction ingaas/ingaasp) a ete effectuee en employant deux techniques : la sonde ionique sims et le profilometre electrochimique ecv (polaron), apres des traitements thermiques. La modelisation de ces profils experimentaux de diffusion a l'aide de deux modeles issus du mecanisme kick-out de la diffusion substitutionnelle-interstitielle (sid) a permis d'obtenir les parametres de diffusion du be sous forme de loi d'arrhenius. Le modele utilisant des interstitiels de be neutres a donne des meilleurs ajustements des profils de diffusion que celui faisant intervenir des interstitiels de be charges une fois positivement. Les effets du champ electrique induit par le processus de diffusion et du niveau de fermi ainsi que les montees de dislocations ont ete pris en compte dans les simulations. L'influence du fort dopage initial en be et la formation de defauts etendus ont egalement ete consideres. Dans le cas de l'heterojonction, une legere accumulation du be aux interfaces ingaas/ingaasp a ete detectee au sims. La presence de ces derniers a necessite la prise en compte de conditions aux limites supplementaires en faisant intervenir des coefficients d'heterointerfaces. Par ailleurs, une importante activation du be a ete mesuree dans l'ingaas au polaron ainsi que la mise en evidence de l'efficacite d'une nouvelle solution electrolytique (edta/ethylenediamine) pour l'analyse polaron de ce materiau.

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Informations

  • Détails : 249 p.
  • Annexes : 184 ref.

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université de Rouen. Service commun de la documentation. Section sciences site Madrillet.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 00/ROUE/S073
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