Analyse des produits de pulverisation de metaux et d'oxydes par spectroscopie optique

par OLIVIER VARENNE

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de PAUL GUY FOURNIER.

Soutenue en 2000

à PARIS 11, ORSAY .

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  • Résumé

    Le bombardement d'un echantillon solide par un faisceau d'ions energetiques entraine l'ejection de particules a l'etat fondamental ou excitees, et l'emission de rayonnements. La theorie de la pulverisation ionique developpee par sigmund fournit certes une explication satisfaisante du mouvement atomique dans le solide et des processus subsequents par lesquels des atomes et des ions sont arraches de la surface, mais elle ne permet pas d'interpreter l'ensemble des observations experimentales. Loin d'etre elucides, les mecanismes d'excitation, de desexcitation, de formation d'agregats, representent des champs d'investigation ouverts. Le spectre optique enregistre sur un domaine spectral s'etendant du proche u-v au proche i-r s'interprete comme la signature electromagnetique du phenomene. On accede ainsi, a des informations sur le comportement des particules au voisinage de la surface, qui corroborent ou infirment les modeles theoriques. De l'analyse conjointe des variations de l'intensite des raies en fonction de la nature de la cible ou de son environnement chimique, et, des formes des profils dont les changements stigmatisent l'evolution des distributions cinetiques, doivent emerger les principales caracteristiques des mecanismes presents. Nous avons ainsi teste pour des cibles de titane, de beryllium et de leur oxyde, le modele classique de transfert de charge. Les spectres moleculaires constituent une source d'information sur les etats rovibroniques des molecules diatomiques etudiees (alo, beo). La determination de temperatures de rotation et de vibration differentes temoigne du caractere hors equilibre de leur processus de formation. Les resultats ne concernent pas exclusivement les particules excitees. L'analyse des distributions angulaires aborde ainsi la pulverisation d'un point de vue mecanique, ignorant son aspect quantique. Les incidences obliques affectent les formes de ces distributions qui resultent de processus distincts que nous tentons de qualifier.

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Informations

  • Détails : 323 p.
  • Annexes : 210 ref.

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  • Bibliothèque : Université Paris-Sud (Orsay, Essonne). Service Commun de la Documentation. Section Sciences.
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  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TH2014-014707
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