Vers la maitrise de la croissance de couches minces : une etude par spectroscopie optique et d'electrons

par Rémi Lazzari

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Jacques Jupille.

Soutenue en 2000

à PARIS 11, ORSAY .

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  • Résumé

    Un des axes principaux de ce travail de these a ete de relier les proprietes optiques de films minces discontinus et leur morphologie. Dans le cadre du formalisme theorique de bedeaux-vlieger, pour des couches minces d'epaisseur bien plus faible que la longueur d'onde, les coefficients de fresnels sont gouvernes par des coefficients constitutifs de surface. Pour un film mince forme d'ilots, ceux-ci sont relies au tenseur de polarisabilite de la particule dont le calcul a ete effectue dans des geometries fixees de sphere ou de spheroide tronques supportes. Dans le cadre de l'approximation quasi-statique, un developpement multipolaire du potentiel donne acces aux quantites recherchees et notamment aux proprietes d'absorption optique dans les particules. Une attention particuliere a ete portee a la convergence numerique du modele avec l'ordre multipolaire et a l'influence des divers parametres tels que le facteur de forme et les proprietes dielectriques des milieux. La validation du modele quant a sa capacite a determiner la morphologie du depot a ete obtenue par des mesures couplees de spectroscopie de reflectivite differentielle (srd) et de diffusion de rayons aux petits angles en incidence rasante sur des depots d'argent sur la face mgo(100). Une approche en termes de representation spectrale de la polarisabilite a permis de mettre en evidence les modes propres de polarisation de la charge. Les absorptions multipolaires actives seulement pour des particules supportees ont clairement ete identifiees pour des agregats d'argent deposes sur -al 2o 3(0001). La srd et le modele optique ont ete appliques a l'etude de diverses interfaces metal/alumine. L'argent donne lieu a une croissance purement tridimensionnelle alors que le titane ou l'aluminium forment des particules plates en interagissant plus fortement avec le substrat. La modification de la croissance de l'argent par le titane et l'oxygene a egalement ete abordee.

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Informations

  • Détails : 170 p.
  • Annexes : 250 ref.

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université Paris-Sud (Orsay, Essonne). Service Commun de la Documentation. Section Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Bibliothèque : Centre Technique du Livre de l'Enseignement supérieur (Marne-la-Vallée, Seine-et-Marne).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TH2014-014679
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