Etude théorique et expérimentale des phénomènes de conduction thermique dans les matériaux diélectriques déposés en couches minces : application aux dépôts d'oxyde

par Stéphane Orain

Thèse de doctorat en Sciences de l'ingénieur. Transferts thermiques

Sous la direction de Yves Scudeller.

Soutenue en 2000

à Nantes .


  • Résumé

    Ce travail concerne l'étude théorique et expérimentale des propriétés thermophysiques des couches minces diélectriques lorsque l'épaisseur de celles-ci devient nettement inférieure au micron. Ce travail a permis d'analyser les phénomènes de conduction thermique à différentes échelles du matériau afin de mieux comprendre le rôle de la microstructure sur la conductivité thermique. Cette étude a été menée sur différents oxydes-amorphe et polycristallin- (ZrO2, SiO2) et un polymère (poly(p-phénylène-vynilène)) de��posé sous vide par divers procédés (pulvérisation RF, évaporation thermique).


  • Résumé

    This work deals with the theoretical and experimental study of thermophysical properties of the dielectric thin films with a thickness definitely lower than one micron. This work details how to analyse thermal conduction phenomena on various scales in order to better understand the role of the microstructure on the thermal conductivity. This study was undertaken on various amorphous and polycrystalline oxides (ZrO2, SiO2) and a polymer deposited by different techniques (RF sputtering, thermal evaporation).

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Informations

  • Détails : 180 p.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. 176-180

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  • Bibliothèque : Université de Nantes. Service commun de la documentation. Section Sciences.
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  • Cote : 00 NANT 2123
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  • Cote : 00 NANT 2123
  • Bibliothèque : Ecole centrale de Nantes. Médiathèque.
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  • Cote : TH 1877 bis
  • Bibliothèque : Ecole centrale de Nantes. Médiathèque.
  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : TH 1877
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