Dépôt chimique en phase vapeur de silice dans une post-décharge micro-onde de grand diamètre : paramètres de dépôts, propriétés des films, diagnostics et modélisation du milieu réactif

par Florence Naudin

Thèse de doctorat en Science des matériaux céramiques et traitement de surface

Sous la direction de Jean Desmaison.


  • Pas de résumé disponible.


  • Résumé

    Des couches minces de silice sont obtenues dans un reacteur pecvd micro-onde de grand diametre, fonctionnant en mode post-decharge, par reaction entre un gaz plasmagene (oxygene) et un gaz precurseur (sih 4/ar). Une etude parametrique permet de determiner un point de fonctionnement (1600 w ; 0,13 mbar ; r = 160 rapport du debit d'oxygene et du silane ; 150\c) conduisant a des films adherents de silice amorphe de densite voisine de la valeur theorique (2,2). Deux diagnostics sont employes pour caracteriser la decharge et la post-decharge. Les especes identifiees par spectrometrie d'emission optique proviennent du gaz plasmagene (o, o 2 + et o 2), de la dissociation du silane (h, sih) et de recombinaisons en phase gazeuse (sio, oh). Les resultats mettent en evidence que la zone de depot n'est pas une reelle post-decharge et qu'il existe des recirculations de gaz precurseur dans le plasma. La temperature du gaz, deduite du spectre rotationnel de la bande atmospherique, est de l'ordre de 650 a 700 k. La densite et la temperature des electrons, mesurees par double sonde electrostatique, precisent que la zone de depot est un domaine transitoire entre la decharge et la proche post-decharge. La modelisation du reacteur comporte deux principales parties distinctes. Une etude aerodynamique, mettant en uvre un code de calcul numerique (estet) en vue d'optimiser l'injection du gaz precurseur et de definir le regime d'ecoulement, montre que l'ecoulement est perturbe et complexe. Un modele electromagnetique, developpe par l'ircom, revele que le champ electrique, principalement reparti dans les gaines electrostatiques et en peripherie du quartz, se propage peu dans la post-decharge. L'excitation choisie assure donc un excellent couplage micro-onde/plasma.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 192 p

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université de Limoges. Ecole nationale supérieure d'ingénieurs de Limoges. Bibliothèque.
  • Disponible pour le PEB
  • Bibliothèque : Université de Limoges (Section Sciences et Techniques). Service Commun de la documentation.
  • Disponible pour le PEB
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.